誘電体バリア放電を用いたプラズマジェットの発生機構の調査

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-033

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Investigation of Generation Mechanism of Plasma Jet Using Dielectric Barrier Discharge

著者名: 寺西 裕太(徳島大学),岩佐 勇希(徳島大学),寺西 研二(徳島大学),下村 直行(徳島大学)

著者名(英語): Yuta Teranishi(Tokushima University),Yuki Iwasa(Tokushima University),Keniji Teranishi(Tokushima University),Naoyuki Shimomura(Tokushima University)

キーワード: 誘電体バリア放電|プラズマジェット

要約(日本語): プラズマジェットは放電空間に気体を高速に吹き込むことで，プラズマを外部にジェット状に放出させ，物体に照射する装置の一つである。中でも誘電体バリア放電（DBD）型プラズマジェットは，電子温度が高くガス温度が室温程度の低温プラズマを形成することができ，化学的に活性な種が豊富に含まれていることからプラズマプロセスや殺菌・滅菌(1)，(2)など様々な分野での応用が期待されている。本研究では，DBD型プラズマジェットの発生機構を議論することを目的として，ジェット状プラズマの外周に放電ガスとは異なるガスを供給できるプラズマジェット装置を開発した。本報告では，ジェット状プラズマの発光スペクトルを調べた結果について述べる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 253 Kバイト