指向性四重極質量分析計を用いた電子ビームのパルス照射によるアルミナセラミックスからの脱離ガス測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-060

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Measurement of Desorbed Gases from Alumina Ceramics by Pulsed Electron Beam Irradiation with a Directional Quadrupole Mass Spectrometer

著者名: 近藤淳一 (埼玉大学),山納 康(埼玉大学),小林 信一(埼玉大学),齊藤 芳男(高エネルギー加速器研究機構)

著者名(英語): Junichi Kondo(Saitama University),Yasushi Yamano(Saitama University),Shinichi Kobayashi(Saitama University),Yoshio Sito(High Energy Accelerator Research Organization)

キーワード: 真空|真空沿面放電|脱離ガス|電子刺激脱離

要約(日本語): 真空中沿面放電現象の要因の一つに，絶縁体からの電子衝撃脱離ガスが挙げられている。このため高エネルギーの電子ビームを照射した際に絶縁体から脱離するガスの種類・量を分析する必要がある。過去の研究で絶縁体に電子ビームを照射すると帯電を生じ，測定結果に影響を与えている可能性があった。そこで本報告では電子ビームの単パルス照射を用いて，絶縁体が帯電した時のガスが脱離する様子の変化を観測した。アルミナセラミックスに電子照射を繰り返し行うと，電子照射開始後ガス量の増加（放出）の始まりが遅れることがあった。放出遅れの原因としては，電子パルス照射によって生じるアルミナセラミックス上の帯電が原因として考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 356 Kバイト