被加工物回転機を用いたSiCインゴットの放電加工

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-079

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Wire-electric discharge machining of the rotating SiC ingot

著者名: 山本 則正(中部大学)

著者名(英語): Norimasa Yamamoto(Chubu University)

キーワード: 放電加工|炭化珪素|回転機

要約(日本語): 我々は、次世代半導体デバイス材料である炭化珪素（SiC）のインゴットからウェハへの加工方法として、ワイヤー放電加工法を用いた加工技術の研究を行っている。今回、加工時に排出される切粉が放電に関与しないようインゴットを回転させながら切断する方法を試験したので報告する。結果として2インチ径インゴットでは、無回転加工と同程度の速度を保ちながら、ワイヤーへの放電ダメージが軽減されていた。本結果は、インゴットの大径化に伴い、重要になると考えられる。また加工液として通常のイオン交換水ではなくフッ素系溶液を用いた加工の高速化試験も実施したので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 363 Kバイト