位相同期型QCM用水晶振動子の作製とその評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-116

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Evaluation of Crystal Resonator for Phase Locked Quartz Crystal Microbalance

著者名: 山田 翔平(日本大学),今池 健(日本大学),作田 幸憲(日本大学),関根 好文(日本大学)

著者名(英語): shohei Yamada(Nihon University),takeshi Imaike(Nihon University),Yukinori Sakuta(Nihon University),Yoshihumi Sekine(Nihon University)

キーワード: 水晶振動子|PL-QCM

要約(日本語): 数ng 以下の微小質量を検出できるQCM(Quartz Crystal Microbalance:水晶振動子微小天秤)の性能の向上を目的として、我々は位相同期型QCM(以下PL-QCMとする)を提案した。本稿ではPL-QCMに必要となる、1枚の水晶板上に2組の電極対をもつ水晶振動子を作製し、その特性の評価を行った。その結果、両振動子の直列共振周波数は約280[ppm]、Q値は1%の差となり、1枚の水晶板上に特性がほぼ等しい2つの水晶振動子を作製できた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 366 Kバイト