両極性パルス加速器を用いた高強度パルスイオンビームの特性評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-149

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Characteristic of intensity pulsed ion beam generated by bipolar pulse accelerator

著者名: 北島 一樹(富山大学),勘田崇史 (富山大学),升方 勝己(富山大学),伊藤 弘昭(富山大学)

著者名(英語): Kazuki Kitajima(University of Toyama),Takashi Kanda(University of Toyama),Katsumi Masugata(University of Toyama),Hiroaki Ito(University of Toyama)

キーワード: パルスイオンビーム|パルスパワー|両極性パルス|磁気絶縁ダイオード

要約(日本語): 高強度パルスイオンビーム(Intense Pulsed Ion Beam : IPIB)は、パルス電力技術を用いて生成される大電流( >1 kA) 、短パルス(?100 ns)のイオンビームであり固体表面をパルス的に加熱できることから、材料の表面処理、薄膜生成、イオン注入などの応用が期待されている。しかし、従来のパルスイオンビーム技術では、イオンビームに不純物が多く含まれていて、イオンビームの純度が低いことや、発生イオン種の制限などの問題があった。そこで、IPIBの純度を加速段階において向上可能な多段式静電加速器である両極性パルス加速器を開発してきた。本発表では、初段加速におけるイオンビームの評価を行ったので、その結果を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 265 Kバイト