CF4/希ガス混合気体を用いた大気圧誘電体バリア放電におけるAlPO4触媒の効果

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-161

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): CF4 decomposition using AlPO4 catalyst and atmospheric pressure dielectric barrier discharges in CF4/noble gas mixtures

著者名: 井出 存(首都大学東京),白井 直機(首都大学東京),内田 諭(首都大学東京),杤久保文嘉 (首都大学東京)

著者名(英語): Tamotsu Ide(Tokyo Metropolitan University),Naoki Shirai(Tokyo Metropolitan University),Satoshi Uchida(Tokyo Metropolitan University),Fumiyoshi Tochikubo(Tokyo Metropolitan University)

要約(日本語): CF4/希ガス用いた非熱平衡大気圧プラズマでは、CF4の分解に伴い様々な放電形態を示すことがわかっている。したがって、それらの特性を測定することでCF4分解の効率化や詳細なCF4分解過程を解明することが可能となる。ここでは、同軸円筒型の誘電体バリア放電リアクタを用い各種条件のもと実験を行い、各放電における発光や処理後のガス組成から放電特性やCF4分解過程を考察し報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 262 Kバイト