高周波駆動大気圧プラズマのシミュレーション ―ヘリウムプラズマ基礎特性へ及ぼす不純ガスの影響―

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-169

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Simulation of Atmospheric-Pressure Radio-Frequency Capacitive Plasmas -Influence of Impurity Gases on Fundamental Plasma Properties in Helium-

著者名: 坂下 准哉(千葉工業大学),今関 智也(千葉工業大学),齋藤 直樹(千葉工業大学),小田 昭紀(千葉工業大学)

著者名(英語): Junya Sakashita(Chiba Institute of Technology),Tomoya Imazeki(Chiba Institute of Technology),Naoki Saito(Chiba Institute of Technology),Akinori Oda(Chiba Institute of Technology)

キーワード: 放電プラズマ|大気圧プラズマ|シミュレーション

要約(日本語): 非平衡大気圧プラズマは低圧下のプラズマに比べてガス密度が高く衝突が頻繁に起こるため、イオンや中性ラジカルなどの反応活性種が多く生成される特徴を持ち、医療・バイオ分野や材料プロセス分野への応用が期待されている。これら分野で応用する上で、均一なプラズマを大面積で生成することが求められ、そのためには本プラズマの基礎特性の理解が重要である。本報告では、流体モデルに基づく非平衡大気圧ヘリウムプラズマの計算機シミュレーションを行い、ヘリウムガスに含まれる微量の不純ガス(窒素)がプラズマ基礎特性へ及ぼす影響に関して検討したので、その結果を報告する。

原稿種別: 日本語

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