減圧マイクロ波放電水素プラズマの分子回転温度計測とガス温度の推定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-171

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): OES Measurement of Molecular Rotational Temperature and Estimation of Gas Temperature of a Low-Pressure Microwave Discharge Hydrogen Plasma

著者名: 赤塚 洋(東京工業大学),清水 良浩(東京工業大学),根津 篤(東京工業大学),松浦 治明(東京工業大学)

著者名(英語): Hiroshi Akatsuka(Tokyo Institute of Technology),Yoshihiro Shimizu(Tokyo Institute of Technology),Atsushi Nezu(Tokyo Institute of Technology),Haruaki Matsuura(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 水素プラズマ|分光計測|回転温度測定|水素分子分光|ガス温度計測

要約(日本語): 低圧マイクロ波放電窒素プラズマのガス温度を推定するため、水素分子Fulcher-α帯のΔv=0,Q分枝の発光分光計測により、上準位のd状態の回転温度を計測した。上準位振動量子数について0 ? v' ? 4の範囲で回転温度を求めた所、v'の増加に伴い単調減少となり、その値は290 ? 700 Kの範囲であった. 高振動励起準位ほど、核間距離が長くなり、慣性モーメントが増加する事が一因であると考察した。こうした分子定数の変化を取り入れて基底状態の回転温度を推定し、ガス温度の近似値として矛盾のない値である事を結論した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 450 Kバイト