大気圧MCS放電プラズマの分光測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-172

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Spectroscopy of Micro-hollow Cathode Sustained Discharge in Atmospheric Pressure

著者名: 渡邊 直人(埼玉大学),滝沢 翔人(埼玉大学),前山 光明(埼玉大学)

著者名(英語): Naoto Watanabe(Saitama University),Shoto Takizawa(Saitama University),Mitsuaki Maeyama(Saitama University)

キーワード: 大気圧プラズマ|MCS放電|MHCD|分光測定

要約(日本語): 大気圧・大容積プラズマを発生させる方法の一つとして、複数のMicro Hollow Cathode Discharge(MHCD)プラズマを並列動作させ、第三電極との間にグロー放電を発生させたMicro-hollow Cathode Sustained(MCS)放電がある。本研究では分光器を用いた分光測定により、円筒形MCS放電プラズマの発光スペクトルを観測し発光励起種の同定を行い電子温度・電子密度の評価をすることを行った。円筒形MCS放電プラズマからの放射光をレンズにより集光し、分光器に入射し発光スペクトルを観測した。結果、円筒形MCS放電プラズマの発光スペクトルは、315nm，337nm，359nm，382nm，400nm，405nmに発光スペクトルが観測され、315nmでは OIIイオン，337nmではOIIイオン、359nmではOIIイオン，382nmではOIイオン，400nmではNIIIイオン，405nmではOIIイオンであるとした。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 281 Kバイト