フェライトコア型コイルによるプレーナー形Ar変調熱プラズマのAr励起温度分布

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-173

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Temperature Distribution of a Planar Type of Ar Modulated Thermal Plasma Operated by a Ferrite Core Coil

著者名: 赤尾 美香(金沢大学),倉石 克弥(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),石島 達夫(金沢大学)

著者名(英語): Mika Akao(Kanazawa University),Katsuya Kuraishi(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University),Tatsuo Ishijima(Kanazawa University)

キーワード: 熱プラズマ|変調|プレーナー形|フェライトコア|プラズマ装置

要約(日本語): 従来の誘導熱プラズマ装置は，石英の円筒管の周りに巻いたコイルに高周波電流を流すことで，石英管内に円柱形状のプラズマを維持するものであった。しかし，このような円柱形状ではプラズマの大面積化を行うのに限界がある。材料プロセス分野において，高速表面改質・高速薄膜生成の大面積化を行う為に，大電力の平面型誘導熱プラズマが必要である。筆者らは，平面型プラズマ装置の先駆けとし，プレーナー形石英容器を用いた空芯型およびフェライトコア型コイルのプラズマ装置を作成している。フェライトコア型コイルでプレーナー型のプラズマを点火・維持し，さらにコイル電流を変調してトーチ下流の温度分布やその時間変化を明らかにした。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 632 Kバイト