ダイヤモンド膜生成用変調誘導熱プラズマにおけるC2，Hスペクトルの立ち上がり継続時間依存性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-174

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル：ダイヤモンド膜生成用変調誘導熱プラズマにおけるC₂，Hスペクトルの立ち上がり継続時間依存性

タイトル(英語): Rising Ratio Dependence of C₂ and H Spectral Intensities during Diamond Films Fabrication using Modulated Thermal Plasmas

著者名: 堀田 宗佑(金沢大学),春多洋佑 (金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),石島 達夫(金沢大学)

著者名(英語): Sosuke Horita(Kanaza University),Yosuke Haruta(Kanaza University),Yasunori Tanaka(Kanaza University),yoshihiko Uesugi(Kanaza University),Tatsuo Ishijima(Kanaza University)

キーワード: 変調誘導熱プラズマ|ダイヤモンド|分光観測

要約(日本語): これまで筆者らは, パルス変調誘導熱プラズマを用いて，Si基板表面上でのダイヤモンド膜生成実験をおこなってきた。今回，Si基板への照射ラジカル量をより詳細に制御するために，新たに任意波形変調誘導熱プラズマを用いた。変調波形は三角波から鋸波までの三角形状とし，C₂，Hスペクトル放射強度への影響を検討した。プラズマの分光観測結果から，立ち上がり継続時間比RRを変更するとC₂の放射強度の変化は小さいが，Hαの放射強度は大きく変化することが分かった。よって，立ち上がり継続時間比RRを変更することで，C₂分子の照射量を変化させずにH原子の照射量を制御できると考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 624 Kバイト