低温プラズマ中におけるアーク放電による炭素不純物の生成と炭素膜形成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-175

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Generation of Carbon Impurity and Formation Carbon Film by Arc Discharge in Low-temperture Plasma

著者名: 野谷 昌弘(金沢大学),佐々木 彩(金沢大学),飯田 和也(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),田中 康規(金沢大学),石島 達夫(金沢大学)

著者名(英語): Masahiro Notani(Kanazawa University),Aya Sasaki(Kanazawa University),Kazuya Iida(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Tatsuo Ishijima(Kanazawa University)

キーワード: プラズマ|アーク放電|炭素膜|炭素|炭素不純物

要約(日本語): Heliotron-DRに水素プラズマを生成し、そのプラズマ中にて同軸型炭素電極をアーク放電させ、炭素不純物を供給するという実験を行った。これにより高熱流プラズマによるアブレーションなどが模擬可能である。生成した炭素不純物の評価と形成された堆積膜の評価を行い、水素/メタンプラズマにて生成される炭素不純物と堆積膜との比較をした。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 456 Kバイト