低温重水素プラズマにおける窒素導入による炭素膜堆積抑制実験

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-181

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Suppression of Carbon Film Deposition by Nitrogen Addition in Low Temperature Deuterium Plasmas

著者名: 飯田 和也(金沢大学),野谷 昌弘(金沢大学),佐々木 彩(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),田中 康規(金沢大学),石島 達夫(金沢大学)

著者名(英語): Kazuya Iida(Kanazawa University),Masahiro Notani(Kanazawa University),Aya Sasaki(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Tatsuo Ishijima(Kanazawa University)

要約(日本語): 今回、核融合炉における遠融プラズマ領域での不純物膜堆積、水素同位体吸蔵に関する知見を得るため、Heliotron-DR装置を用いて重水素/メタンプラズマを試料へ照射する。この条件下において窒素添加による炭素膜堆積の成長抑制効果、水素同位体の吸蔵特性を調べた。水素/メタン/窒素プラズマの分光観測結果より、揮発性のCNやNH分子の発光を確認できる。また、水素/メタン/窒素の炭素膜厚の表面温度依存性から、窒素添加による顕著な膜厚の減少が確認された。これらより、重水素/メタンプラズマに窒素を導入した際にも非凝集性のCNやND分子が形成され、炭素膜堆積、ダスト形成が抑制されることが期待される。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 303 Kバイト