大気圧プラズマ源の二次元数値解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-187

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Two-Dimensional Analysis of Atmospheric Pressure Plasma Source

著者名: 岡 佑樹(埼玉大学),前山 光明(埼玉大学)

著者名(英語): Yuki Oka(Saitama university),Mituaki Maeyama(Saitama university)

キーワード: 大気圧グロー放電|数値解析|大気圧プラズマ|マイクロホローカソード放電

要約(日本語): 大気圧プラズマ源はオゾナイザとしての応用が期待されているが、そのためには電界強度や電子温度、気体温度などの情報を知る必要がある。プラズマ源は非常に小型のため実験では十分な情報が得られないので、本研究では数値解析を行った。今回は有限要素法を用いて放電が定常状態の時の電極周辺の電位分布、電界強度分布について解析した。その結果、絶縁体内部や近傍では等電位線が平行となるような分布となったので一様な電界強度が得られていたが、空気、絶縁体、金属が同時に接している三重点と呼ばれる領域においてはその一様な電界強度よりも1．5倍強い電界強度を確認することができた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 304 Kバイト