Arと水蒸気の混合ガスを用いた噴流型大気圧プラズマの実験

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-188

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): An Experimental study of Atmospheric Pressure Plasma Using Argon/Water vapor Mixture Gas Stream

著者名: 中條稔也 (東海大学),山田 弓華(東海大学),フラータアサード (東海大学),大山龍一郎 (東海大学)

著者名(英語): Nakajo Toshiya(Tokai University),Yamada Yuka(Tokai University),Saad Muath M Fallatah (Tokai University),Ohyama Ryu-ichiro(Tokai University)

キーワード: 大気圧プラズマ|水蒸気|発光分光

要約(日本語): 大気圧プラズマは，真空装置が不要であり，表面処理などの応用が期待されている。本研究では，OHなど表面処理などに有用なラジカルを増加させるため，Arと水蒸気の混合ガスによる噴流型大気圧プラズマについて実験を行った。プラズマに対する評価は，発光分光によって行った。実験の結果，プラズマに極少量の水蒸気を加えるとOH, N2ラジカルが増加することがわかった。これは電離過程の変化や様々な化学反応により，ペニング効果が起こりやすくなったからと考えられる。このことから，プラズマに極少量の水蒸気を混合するとOHなどの有用なラジカルが増加することがわかった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 300 Kバイト