大気圧・準大気圧トーチ型プラズマを用いたダイヤモンドライクカーボン成膜実験

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-195

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Preparation of diamond-like carbon films using torch-type plasmas at sub-atmospheric/atmospheric pressure

著者名: 福井 経太(兵庫県立大学),菊池 祐介(兵庫県立大学),松尾 吉晃(兵庫県立大学),堀口 恭光(栗田製作所),西村 芳実(栗田製作所),永田 正義(兵庫県立大学),八束充保 (兵庫県立大学)

著者名(英語): Keita Fukui(University of Hyogo),Yusuke Kikuchi(University of Hyogo),Yoshiaki Matsuo(University of Hyogo),Yasumitsu Horiguchi(Kurita Seisakusyo Co. Ltd.),Yoshimi Nishimura(Kurita Seisakusyo Co. Ltd.),Masayoshi Nagata(University of Hyogo),Mitsuyasu Yatsuzuka(University of Hyogo)

キーワード: 大気圧プラズマ|ダイヤモンドライクカーボン|成膜|ラマン分光

要約(日本語): ダイヤモンドライクカーボン（Diamond-like carbon: DLC）は高硬質，低摩擦性，ガスバリア性など優れた性質を有し，主に機械部品へのコーティングとして応用展開されている。DLCの大面積成膜および低コスト化が可能になれば，DLCの適用分野の拡大が期待できる。本研究ではトリプル電極を用いて基板上に高密度プラズマを生成する装置を開発し，大気圧・準大気圧下におけるDLC成膜実験を実施した。ラマン分光測定の結果，1580 cm-1（Gバンド）と1380 cm-1（Dバンド）の二つのピークが観測されており，アモルファスカーボン膜が成膜されていることを確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 390 Kバイト