空間電荷分布測定系における半導電電極の音響インピーダンスの評価手法

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-011

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Evaluation tequnique for acoustic impedance of semiconducting electrode in space charge measuremet system

著者名: 布野 竜二(豊橋技術科学大学),石川 晃(豊橋技術科学大学),村上 義信(豊橋技術科学大学),栗本 宗明(豊橋技術科学大学),福間 眞澄(松江工業高等専門学校),長尾 雅行(豊橋技術科学大学),西森 才将(日東電工)

著者名(英語): Ryuji Funo(Toyohashi University of Technology),Akira Ishikawa(Toyohashi University of Technology),Yoshinobu Murakami(Toyohashi University of Technology),Muneaki Kurimoto(Toyohashi University of Technology),Masumi Fukuma(Matsue College of Technology),Masayuki Nagao(Toyohashi University of Technology),Toshimasa Nishimori(Nitto Denko Corporation)

キーワード: 空間電荷|PEA法|音響インピーダンス

要約(日本語): 空間電荷分布測定技術の一つであるパルス静電応力（PEA）法において圧力波の減衰や分散を考慮した空間電荷分布の補正処理方法が提案されている(1)。しかし、一般にこれらの補正方法においては半導電電極と試料の音響インピーダンスは一致しているものと仮定されており、厳密な補正のためには実際の測定系におけるその音響インピーダンス差を考慮する必要がある。本報告ではPEA法において音響インピーダンスを評価できる空間電荷測定システム(2)を用いて試料側からみた半導電電極の音響インピーダンスの評価手法を考案したので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 379 Kバイト