薄膜高感度磁気センサに膜面法線方向磁場を印加することで実現する微粒子磁性体の検出

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-110

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Method of detecting a small magnetic particle by using a sensitive thin-film sensor with application of strong magnetic field in the substrate’s normal direction.

著者名: 中居 倫夫(宮城県産業技術総合センター),三浦 由則(ジーエヌエス),石山 和志(東北大学)

著者名(英語): Tomoo Nakai(Industrial Technology Institute,Miyagi Prefectural Government),Yoshinori Miura(JNS Co. Ltd.),Kazushi Ishiyama(Research Institute of Electrical Communication,Tohoku University)

キーワード: 異物検出|微粒子|磁性体|磁気センサ

要約(日本語): 本報告では，薄膜磁気センサとその周辺の空間に膜面法線方向の強い磁場を印加することでセンサ近傍を通過する微粒子を磁化させ，これと同時に，高感度な薄膜磁気センサで微粒子が発生する磁場を検出するという磁性微粒子の検出方法を提案する。本手法は，リチウムイオン電池のセパレータ等，微粒子金属異物の混入が問題になる製品の異物検査に適用するものである。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 307 Kバイト