ソフト／ハード磁性膜を用いたチューナブル磁気センサの試作と特性評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-113

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Fabrication and Characterization of Tunable Magnetic Sensor Using Soft/Hard Magnetic Films

著者名: 釜田大幹 (信州大学),曽根原 誠(信州大学),飯田 聡子(信州大学),佐藤敏郎 (信州大学)

著者名(英語): Hiroki Kamada(Spin Device Technology Center,Shinshu University),Makoto Sonehara(Spin Device Technology Center,Shinshu University),Satoko Iida(Spin Device Technology Center,Shinshu University),Toshiro Sato(Spin Device Technology Center,Shinshu University)

キーワード: チューナブル磁気センサ|ハード磁性膜|パルス着磁|バイアス磁界

要約(日本語): MRセンサに代表されるように磁性体を用いた磁気センサは，一軸磁気異方性を有するソフト磁性膜が利用されることが多く，測定磁界の方向を磁化困難軸方向とすることが多い．測定レンジは異方性磁界と一致し，測定感度もソフト磁性膜の磁気特性で決定されるため，一般的に高感度と広測定レンジの両立は困難である．そこで筆者らは，ソフト磁性膜とハード磁性膜，着磁コイルを組み合わせた構造を考案し，ハード磁性膜から生じるバイアス磁界で感度および測定レンジをリアルタイムかつ極省エネルギーで可変できる磁気センサを試作し，特性評価を行った．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 318 Kバイト