N2+CO2プラズマ照射による窒化鉄箔の生成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-137

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル：N₂+CO₂プラズマ照射による窒化鉄箔の生成

タイトル(英語): Formation of Iron Nitride Foils Irradiated with N₂+CO₂ Plasma.

著者名: 村田 利明(日本大学),新妻清純 (日本大学)

著者名(英語): toshiaki Murata(Nihon University),Kiyozumi Niizuma(Nihon University)

キーワード: 磁性材料|窒化鉄|プラズマ|レアアース

要約(日本語): 窒化鉄はレアアースレス磁石材料の一つであり,1972年,東北大学のT.K.Kim氏と高橋實博士らによって発見された.高橋博士らは,真空蒸着法で作製した窒化鉄薄膜のα"-Fe₁₆N₂が純鉄を上回る高飽和磁化値を有することを報告した.しかし,実験データの再現性に乏しく,安定した生成は行えなかった. この原因として,高飽和磁化値を持つ窒化鉄の生成には,何らかの不純物が影響を与えていることが挙げられる.これらの不純物は,空気中に含まれている二酸化炭素や酸素,油拡散ポンプに使用されているオイルに含まれる炭素などが考えられる.そこで本研究では,窒素プラズマ照射法を用いた窒化鉄箔の生成に及ぼすCO₂の影響を,得られた試料の結晶構造の観点から比較,検討した.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 321 Kバイト