ディスクリート型微小構造体を用いたマイクロ化学デバイスの新規製作法によるMEMSミキサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-100

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): MEMS mixer as an example of a novel construction method of microfluidics by discrete microparts

著者名: 荒木 慶太(豊橋技術科学大学),大橋亮太 (豊橋技術科学大学),本間 浩章(豊橋技術科学大学),高橋 一浩(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学),石田 誠(豊橋技術科学大学),村上 裕二(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Araki Keita(Toyohashi University of Technology),Ryota Ohashi(Toyohashi University of Technology),Honma Hiroaki(Toyohashi University of Technology),Takahashi Kazuhiro(Toyohashi University of Technology),Sawada Kazuaki(Toyohashi University of Technology),Ishida Makoto(Toyohashi University of Technology),Murakami Yuji(Toyohashi University of Technology)

キーワード: マイクロ化学|ミキサ|MEMS

要約(日本語): 本研究では，ディスクリートに微細加工した微小構造体をマイクロ流路内で配置することによるマイクロ化学デバイスの製作，および高機能化を提案する。今回，微小構造体にはシリコンMEMSミキサを用いた。MEMSミキサはSiウェハ両面ICP RIEにより製作した。この構造体を典型的なY字型のPDMS流路にハンドリングにより配置した。蛍光観察により，製作したマイクロ化学デバイスがミキサ－流路一体形成と同じ混合能を示すことを確認した。また，通常のプリアセンブリ構造では不可能な形状を製作した

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 300 Kバイト