シリコーン樹脂への集束プロトンビーム描画を用いたマイクロレンズアレイの形成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-110

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Fabrication of micro-lens arrays of silicone rubber using proton beam writing

著者名: 加藤 聖(芝浦工業大学),齋藤圭祐 (芝浦工業大学),林 秀臣(芝浦工業大学),西川 宏之(芝浦工業大学)

著者名(英語): Hijiri Kato(Shibaura Institute of Technology),Keisuke Saito(Shibaura Institute of Technology),Hidetaka Hayashi(Shibaura Institute of Technology),Hiroyuki Nishikawa(Shibaura Institute of Technology)

キーワード: 集束プロトンビーム|フレキシブル|シリコーン樹脂|マイクロレンズ

要約(日本語): 光学素子の一つとして知られるマイクロレンズは、可変焦点マイクロレンズのようにフレキシブル材料を用いたチューナブルレンズが報告されている。圧力・熱・電界の作用によるチューニングで容易に光を制御出来ることから、マイクロ流体デバイスとの融合により高機能な検査デバイスが期待されている。しかし、今日報告されているマイクロレンズはグレースケールマスクによるUV露光や熱リフローによる形成方法が一般的であり、多段階プロセスやコストにおいて課題がある。諸課題に対し本研究では、集束プロトンビーム描画(PBW) を用いてシリコーン製のマイクロレンズを形成することを目的とする。PBWとシリコーン樹脂の一種であるPDMSを用いることでチューナブルな3次元光学素子をシンプルに形成し、近年のニーズを満たした応用が期待できる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 501 Kバイト