コンベックス型と擬似コンベックス型水晶振動子における振動特性の比較

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-121

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Vibration Characteristics Comparison Between Convex and Quasi-Convex Quartz Resonators

著者名: 巴山 佳祐(早稲田大学),坂野 祐也(早稲田大学),大井川 寛(早稲田大学),池沢 聡(早稲田大学),植田 敏嗣(早稲田大学)

著者名(英語): Keisuke Hayama(Graduate School of Information,Production and Systems,WASEDA University),Yuuya Sakano(Graduate School of Information,Production and Systems,WASEDA University),Hiroshi Oigawa(Graduate School of Information,Production and Systems,WASEDA University),Satoshi Ikezawa(Graduate School of Information,Production and Systems,WASEDA University),Toshitsugu Ueda(Graduate School of Information,Production and Systems,WASEDA University)

キーワード: 水晶振動子|コンベックス|擬似コンベックス|Q値|DRIE

要約(日本語): 水晶を凸レンズ状に加工したコンベックス型振動子は高いQ値を有することで知られているが，微細加工が困難であり，近年の水晶振動子の小型化の要求に応えることが難しい。この課題を解決するために，我々は，水晶表面にドライエッチングによって凹凸パターンを形成することで，コンベックス型の優れたエネルギー閉じ込め効果を再現した擬似コンベックス型振動子の開発を進めている。本論文では，両者の水晶振動子における製作プロセスと振動特性の違いを実験結果に基づいて比較し，擬似コンベックス型水晶振動子の有効性を検証した。結果，擬似コンベックス型振動子はコンベックス型振動子よりも生産性に優れ，かつ同等のQ値を有することを確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 532 Kバイト