FePd/Si積層型共振子の特性評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-123

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Evaluation of Characteristics of FePd/Si Stacked layer Resonator

著者名: 齊藤 崇(千葉工業大学),末澤航一 (千葉工業大学),宮口 涼(千葉工業大学),室 英夫(千葉工業大学),斉藤 千尋(並木精密宝石)

著者名(英語): Saito Takashi(Chiba Institute of Technology),Suezawa Kouichi(Chiba Institute of Technology),Miyakuchi Ryo(Chiba Institute of Technology),Hideo Muro(Chiba Institute of Technology),Saito Chihiro(NAMIKI PRECISION JEWEL CO.,LTD.)

キーワード: 共振子|磁歪|積層|SOI-MEMS|片持ち梁

要約(日本語): 現在用いられている高感度磁気センサとしてはGMR素子やフラックスゲート磁気センサなどが開発されていて、さらに比較的ダイナミックレンジが広いセンサとしては磁歪材/圧電材の積層型磁気センサも注目されている。本研究では、磁歪材料としてスパッタによる薄膜形成が可能なFePdに注目し、MEMS技術への適用を考慮しFePd/Si片持ち梁構造のU字形共振子を設計、試作し、その共振特性の評価を行った。試作したサンプルはコイル中に装着し、所定のDC磁界にAC磁界を重畳させて周波数特性を測定した。共振周波数は約10kHzでDC磁界を増加させていくと共振周波数が徐々に低下し、20Oe程度で飽和する特性が得られた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 354 Kバイト