強誘電体MEMS圧電型振動発電デバイスの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-124

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Fabrication of Ferroelectric MEMS Pizoelectric Vibration Energy Harvester

著者名: 村上 修一(大阪府立産業技術総合研究所),若園 佳佑(大阪府立大学),苅谷 健人(大阪府立大学),吉村 武(大阪府立大学),長瀧敬行 (大阪府立産業技術総合研究所),中出 卓男(大阪府立産業技術総合研究所),中嶋 隆勝(大阪府立産業技術総合研究所),藤村 紀文(大阪府立大学)

著者名(英語): Shuichi Murakami(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Keisuke Wakazono(Osaka Prefecture University),Kento Kariya(Osaka Prefecture University),Takeshi Yoshimura(Osaka Prefecture University),Takayuki Nagataki(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Takuo Nakade(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Takamasa Nakajima(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Norifumi Fujimura(Osaka Prefecture University)

キーワード: 環境発電|圧電体|MEMS|強誘電体

要約(日本語): 近年、身近な環境に存在する微小なエネルギーを電気エネルギーに変換するエナジーハーベスティング技術が注目されており、化学電池に替わる低環境負荷の自立型電源（環境発電デバイス）として期待されている。本研究では、振動をエネルギー源とする圧電型振動発電デバイスに着目した。圧電体には、比誘電率が小さく振動発電応用に大きな性能指数が期待できるBiFeO3(BFO)薄膜を用いた。フォトリソグラフィを基本としたMicro Electro Mechanical Systems(MEMS)技術により、BFO薄膜が搭載された微細な片持ち梁を形成して振動発電デバイスを試作した。さらに、発電性能を評価したので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 319 Kバイト