対向針の三次元的位置合わせ可能なTEM観察用MEMSデバイス:第2報

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-126

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): MEMS Device with Three-Dimensional Positioning of Opposing Tips for TEM Observation : Second Report

著者名: 岡田 利裕(東京大学),佐藤 隆昭(東京大学),藤田 博之(東京大学)

著者名(英語): Toshihiro Okada(The Institute of Industrial Science,The University of Tokyo),Takaaki Sato(The Institute of Industrial Science,The University of Tokyo),Hiroyuki Fujita(The Institute of Industrial Science,The University of Tokyo)

キーワード: MEMS|透過電子顕微鏡|静電アクチュエータ|てこ

要約(日本語): 材料の振る舞いを原子レベルでその場観察することを可能にするために、透過電子顕微鏡に微小電気機械システムを導入した“MEMS-in-TEM”がある。MEMSの探針をTEM内で駆動し、対向針の先端の材料同士を接触させて観察を行うが、現状では針先の上下のずれのため接点が隠れることが原因で、観察の成功率は著しく低い。そのため針を三次元的に駆動して高さのずれを補正することが望まれている。TEMへの集積に適した針の面外方向駆動機構として、針を直接引き付ける方法とてこを介する方法のそれぞれについて、MEMSを作製し測定を行った。大気圧下での測定で、探針を直接引き付ける方法では40Vで410nm、てこを介する方法では200Vで40nmの垂直方向変位が得られた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 696 Kバイト