シリコンのTMAHエッチングによる45?マイクロミラーの作製と評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-129

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Fabrication of 45? micromirror using silicon wet etching with TMAH solutions

著者名: 小出 靖征(立命館大学),寺本 大介(立命館大学),小西 聡(立命館大学),安藤 妙子(立命館大学)

著者名(英語): Yasuyuki Koide(Ritsumeikan University),Daisuke Teramoto(Ritsumeikan University),Satoshi Konishi(Ritsumeikan University),Taeko Ando(Ritsumeikan University)

キーワード: 異方性エッチング|単結晶シリコン|TMAH水溶液|マイクロミラー

要約(日本語): 現在、Micro-Electro-Mechanical-System (MEMS) 技術に基づいた微小領域の化学分析デバイスは、医療分野で広く使われるようになっている(1)。その中で、両端に45?ミラーを有するマイクロ流路は血液の吸光分析には非常に効率的な構造である。本研究では、TMAH+Triton-Xによる異方性ウエットエッチング(2)(3)でSiチップを作製した。濃度・温度による違いで (110) 斜面の性状がどうなるかを検証し、マイクロ流路に適する45?ミラー面作製における最適条件を導出した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 344 Kバイト