可動MEMSデバイスへの光学素子垂直自動アライメント技術

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-131

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Automatically Aligned Assembly Technique of Vertically-Fixed Optical Element on Movable MEMS Devices

著者名: 岡 勇作(香川大学),篠﨑亮輔 (香川大学),寺尾 京平(香川大学),鈴木 孝明(香川大学),下川 房男(香川大学),高尾 英邦(香川大学)

著者名(英語): yusaku oka(Kagawa University),ryosuke shinozaki(Kagawa University),kyohei terao(Kagawa University),takaaki suzuki(Kagawa University),fusao shimokawa(Kagawa University),hidekuni takao(Kagawa University)

キーワード: 光MEMS|マイクロミラー|組み立て|バネ|自動アライメント

要約(日本語): 近年，3次元構造を製作するために，それぞれ別々に製作された部品のマイクロ構造体組み立て技術が研究されている。これら組み立て技術ではマイクロバネの利用，有機材料での化学的固定位置決め，熱アクチュエータによる固定位置決めの研究が行われている。また，光学素子の組み立てでは垂直度と厳密な位置精度が重要となる。本研究では，ウェハの貫通エッチングで形成した固定のためのバネを有するMEMS光学素子（ミラー等）を，独立して製作した，実装のための台形形状スリットを有するMEMS可動構造上といった脆弱な構造上に，初期位置に依存ぜず正確な自動位置決めで最も安定的な場所（設計位置）へ実装する垂直自動アライメント技術を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 437 Kバイト