ホウ素添加ダイヤモンドを用いた電気化学センサ用微小電極チップの研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-150

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Study of Boron Doped Diamond Microelectrode Chip for Electrochemical Sensors.

著者名: 片山 道信(慶應義塾大学),松本 佳宣(慶應義塾大学),杉谷 藍(慶應義塾大学),渡辺 剛志(慶應義塾大学),栄長 泰明(慶應義塾大学)

著者名(英語): Michinobu Katayama(Keio University),Yoshinori Matsumoto(Keio University),Ai Sugitani(Keio University),Takeshi Watanabe(Keio University),Yasuaki Einaga(Keio University)

キーワード: ホウ素添加ダイヤモンド|電気化学センサ|ダイヤモンド電極|ボッシュプロセス

要約(日本語): 優れた電気化学特性を有しており，新たな電極材料として注目されているホウ素添加ダイヤモンド(Boron doped diamond：BDD )をフォトリソグラフィ技術によってセラミック基板に集約してワンチップ化することで，簡便かつ高精度に測定が行える電気化学センサ用BDD微小電極の試作をおこなった。ボッシュプロセスを用いて，BDDをエッチングすることで原版に忠実な線幅100?m程度の微小なBDD電極を作製できることを確認した。また試作したBDD電極を用いて金電極など従来の電極材料では測定が困難であったシュウ酸をワンチップ上で濃度測定を行い，5mM程度まで測定できることを確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 512 Kバイト