静電式感度チューニング機能を有する共振式MEMS加速度センサの検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-155

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Study on Resonant MEMS Accelerometers with Electrostatic Sensitivity Tuning

著者名: 五明 琢也(千葉工業大学),室 英夫(千葉工業大学),飯高 俊哉(メイテック)

著者名(英語): Takuya Gomyo(Chiba Institute of Technology),Hideo Muro(Chiba Institute of Technology),Shunya Iitaka(MEITEC CORPORATION)

キーワード: MEMS|加速度センサ|共振型センサ|静電チューニング|感度

要約(日本語): 近年表面マイクロマシーニング技術による共振を用いた共振型センサ（共振型加速度センサなど）が多く研究されているが、これは共振振動を用いることで振動振幅が増大され、特に共振周波数変化を検出するセンサでは大きな分解能が得られることによる。本研究では専用の補助電極への電圧で発生する静電力による感度チューニングが可能な共振式加速度センサのプロトタイプを設計、試作し、その評価を行った。試作したサンプルを加振器で加振し、共振ピークから共振周波数を求めた。補助電圧Vcが上がるにつれ共振周波数が2乗関数的に減少するとともに感度が増加する特性が得られた。感度が増加したのは補助電圧による静電力により慣性質量を支持する梁のばね定数が低下したためだと考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 322 Kバイト