共振周波数変化型触覚センシング用圧電カンチレバー構造の設計

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-157

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Structure design of piezoelectric cantilevers for tactile sensing based on resonant frequency shift

著者名: 紀 宏俊(京都工芸繊維大学),楊 藝(京都工芸繊維大学),田中 光(京都工芸繊維大学),山下 馨(京都工芸繊維大学),野田 実(京都工芸繊維大学)

著者名(英語): Hirotoshi Kii(Kyoto Institute of Technology),Yi Yang(Kyoto Institute of Technology),Hikaru Tanaka(Kyoto Institute of Technology),Kaoru Yamashita(Kyoto Institute of Technology),Minoru Noda(Kyoto Institute of Technology)

キーワード: 触覚センサ|圧電|共振|応力

要約(日本語): エラストマに圧電振動型カンチレバーを埋め込んだ共振周波数変化型触覚センサにおいて，従来よりも単純な構造で推定精度を向上するカンチレバー構造を提案した。新構造では一面内の振動と高曲率の鉤状構造を組み合わせて三次元触覚を検知する。有限要素解析による触覚荷重推定シミュレーションでは推定誤差を従来型の約半分(5.7%)まで低減できることを示した。この新規センサ構造を実現するために，単一のカンチレバー構造中に複数の曲率を持つ部分を形成する技術を検討して，圧電体の下部電極であるPt/Ti膜の熱処理により曲率を二倍程度まで制御できることを見いだし，新規カンチレバー構造が実現可能であることを示した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 374 Kバイト