共振周波数可変型圧電マイクロ超音波センサのポーリング処理による感度と周波数制御性の向上

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-158

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Sensitivity and tunability improvement by poling of frequency-tunable piezoelectric ultrasonic microsensors

著者名: 森本 篤(京都工芸繊維大学),山下 馨(京都工芸繊維大学),田中 光(京都工芸繊維大学),楊 藝(京都工芸繊維大学),野田 実(京都工芸繊維大学)

著者名(英語): Morimoto Atsushi(Kyoto Institute of Technology),Yamashita Kaoru(Kyoto Institute of Technology),Tanaka Hikaru(Kyoto Institute of Technology),Yang Yi(Kyoto Institute of Technology),Noda Minoru(Kyoto Institute of Technology)

キーワード: 超音波センサ|共振|ポーリング|応力|チューニング

要約(日本語): 電極構造をセンシング用と共振周波数チューニング用の内外2重にした圧電ダイアフラム型マイクロ超音波センサにおいて，センシング電極へのポーリングがセンサ感度と周波数チューニング特性に与える影響について評価を行った。内部電極に0~8Vのポーリング電圧，外部電極に±6Vまでのチューニング電圧を印加し，超音波パルスに対するセンサの応答出力を調べた結果，8Vのポーリング時では共振周波数変化率は164%となり，ポーリングを行わない時の183％に比べ減少したが，ポーリング電圧の組み合わせを工夫することで199%の共振周波数変化率を実現できる可能性を示した。また，今回ポーリングを併用した場合には従来に比べて2.8?10倍の感度向上が得られた。これらより，ポーリング電圧を上手く組み合わせることで，大幅な感度向上とチューナビリティの向上を両立できる可能性を示した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 329 Kバイト