材料判別能にむけた複合センサを集積するメッシュ状シリコン触覚イメージセンサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-166

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): A mesh-like silicon tactile image sensor with integrated multi-sensors for material discrimination

著者名: 高木 優佑(香川大学),前田 祐作(香川大学),寺尾 京平(香川大学),鈴木 孝明(香川大学),下川 房男(香川大学),高尾 英邦(香川大学)

著者名(英語): Yusuke Takagi(Kagawa University),Yusaku Maeda(Kagawa University),Kyohei Terao(Kagawa University),Takaaki Suzuki(Kagawa University),Fusao Shimokawa(Kagawa University),Hidekuni Takao(Kagawa University)

キーワード: 触覚イメージセンサ|複合センサ|シリコンダイヤフラム|メッシュ|材料判別能|ピエゾ抵抗

要約(日本語): これまでに様々な触覚センサが研究開発されている。しかし，人間の指先を再現する場合は柔軟性を持ち，指先と同等に高感度かつ高分解能に触感を感じ取れる触覚センサが必要となる。加えて，人間の触覚には磁性体と非磁性体，金属と絶縁体などの物性を判別できる機能は備えていないが，今日の半導体センサ技術では，これらのセンサの形成が可能である。本研究では，Siにメッシュ状の加工を行い，樹脂で充填することで高い柔軟性を実現させ，応力や温度だけでなく，磁性や熱伝導率，電気伝導率の取得することで，材料判別能の実現を目指す。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 456 Kバイト