有機薄膜トランジスタ（OTFT）を利用したMEMS加速度センサの作製およびその性能評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-173

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Fabrication of MEMS accelerometer using organic thin film transistor and its characterization

著者名: 北村 健太朗(関西大学),鈴木 昌人(関西大学),高橋 智一(関西大学),青柳 誠司(関西大学)

著者名(英語): Kentaro Kitamura(Kansai University),Masato Suzuki(Kansai University),Takahashi Tomokazu(Kansai University),Seiji Aoyagi(Kansai University)

キーワード: 加速度センサ|有機薄膜トランジスタ(OTFT)

要約(日本語): 有機半導体を利用した薄膜トランジスタ（OTFT）を用いた加速度センサを提案し，その有用性を検討した．OTFTは靭性材料のみを用いて作製することができるため，ひずみを加えても構造が損傷しない．このため，柔軟な梁構造や基板状に形成することで，慣性力などによりたわむようませることが可能である．このとき，有機半導体のキャリア移動度がひずみにより変化し，OTFTの特性が変化するので，この特性変化から加速度を評価することが可能になる．本研究で実施した概算により，提案するセンサの感度は5.2%/gとなると見積もられる．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 428 Kバイト