非線形アクチュエーションシステムの微細制御

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-161

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Fine Control of a Nonlinear Actuation System

著者名: 永田 晃一朗(慶應義塾大学),桂 誠一郎(慶應義塾大学)

著者名(英語): Koichiro Nagata(Keio University),Seiichiro Katsura(Keio University)

キーワード: 位置制御|超磁歪|アクチュエータ|非線形特性|ヒステリシス

要約(日本語): 近年，半導体集積回路技術の発展により，電子機器の小型高性能化が進んでいる。そこでMEMS技術や高精度な加工技術が要求されており，超精密な位置制御を行うために，小型アクチュエータの開発が求められている。中でも，超磁歪素子を用いた超磁歪アクチュエータは，従来広く用いられてきた圧電アクチュエータと比較しても応答速度が数倍速く，発生応力に関しては数十倍大きいという特性を持つため注目が集められている。そこで本論文では，超磁歪アクチュエータを用いて微細な領域における位置制御を行う。さらに，ナノメートル精度で制御を行う際には，高精度なセンシングが必要となる。本論文では，高分解能を持つレーザセンサを用いてフィードバック制御を行う。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 865 Kバイト