自己結合型微小変位システムの動作範囲の拡大

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-230

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Expansion of range of self-coupled micro displacement system

著者名: 森 雅和(愛知工業大学),津田 紀生(愛知工業大学),山田 諄(愛知工業大学),名和 靖彦(愛知工科大学)

著者名(英語): Masakazu Mori(Aichi Institute of Technology),Norio Tsuda(Aichi Institute of Technology),Jun Yamada(Aichi Institute of Technology),Yasuhiko Nawa(Aichi University of Technology)

キーワード: レーザ|自己結合効果

要約(日本語): 自己結合型微小変位システムの動作範囲の拡大森雅和，津田紀生，山田諄（愛知工業大学），名和靖彦（愛知工科大学）本研究では半導体レーザの自己結合効果を用いて微小変位の検出を行った。レーザダイオードにより発振したレーザ光をターゲットに当てると半導体レーザの半波長ごとにピークが現れる。このピーク数を数えることで半波長の分解能で測定が可能である。半波長以下ではセンサ部を可動式にして微小振動を加え、振動出力が最大になるように直流バイアスで調整する。これによりセンサ移動量とターゲット移動量が同じになり直流バイアスとして知ることができる。今回は半波長以上の変位検出を行う。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 306 Kバイト