進化型アルゴリズムによるイオンビームのガイド用一様磁界発生装置の寸法・位置最適化

カテゴリ: 全国大会

論文No: 5-206

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Size and Position Optimization for Uniform Magnetic Field Generator to Guide Ion Beam by Means of Evolutionary Algorithm

著者名: 田島 正彦(宇都宮大学),岡本 吉史(宇都宮大学),東口 武史(宇都宮大学),富永 悠介(宇都宮大学),里 周二(宇都宮大学)

著者名(英語): Masahiko Tajima(Utsunomiya University),Yoshifumi Okamoto(Utsunomiya University),Takeshi Higashiguchi(Utsunomiya University),Yusuke Tominaga(Utsunomiya University),Shuji Sato(Utsunomiya University)

キーワード: 寸法・位置最適化|一様磁界発生装置|進化型アルゴリズム|Biot-Savart 則

要約(日本語): 近年，半導体の高密度化を目的として，13.5 μm の EUV 光源に関する研究が盛んに行われている．本論文では，光源からターゲットにレーザが入射した際に発生するイオンビームをガイドする一様磁界発生装置の最適化に関する検討を行う．本論文で提案する一様磁界発生装置は，製作の容易性を目的として，直方体磁石を組み合わせた簡素な設計に基づき，進化型アルゴリズムによって，直方体磁石の寸法，配置位置のパラメータサーベイを行ったので報告する．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 533 Kバイト