AMTEC用薄膜Mo電極のCVD法による試作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 7-004

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Preparation of molybdenum film electrode for AMTEC by CVD method

著者名: 藤井 孝博(産業技術総合研究所),田中 耕太郎(芝浦工業大学)

著者名(英語): Takahiro Fujii(The National Institute of Advanced Industrial Science and Technology),Kotaro Tanaka(Shibaura Institute of Technology)

キーワード: 電極膜|モリブデン|アルカリ金属熱電変換|CVD

要約(日本語): 金属ナトリウムを作動媒体とするAMTEC(アルカリ金属熱電変換）、あるいはその逆過程によるヒートポンプシステムにおいては、ナトリウムイオン導電性のベータアルミナ固体電解質（BASE)の表面に集電用の電極膜が必要である。この電極膜には優れた導電性とともにナトリウム蒸気が透過できるよう多孔質であることが求められる。今回BASE管の内面にも製膜できる方法としてCVD法によりMo電極膜を試作し、スパッタ法で作製したMo膜と比較した。SEMで観察したところCVD膜はスパッタ膜に比べ粒子が小さく緻密な膜として堆積した。導電性は膜厚相当であったが、一度昇温過程を経ることで安定した値が得られるようになった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 368 Kバイト