集積化CMOS-MEMS技術の検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-S24-1

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

著者名: 町田克之 (NTTアドバンステクノロジー),小西敏文 (NTTアドバンステクノロジー),山根大輔 (東京工業大学),年吉 洋 (東京大学),益 一哉 (東京工業大学)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 605 Kバイト