チタン電極を用いたマイクロ沿面ギャップにおける絶縁破壊特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-075

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

タイトル(英語): Breakdown Characteristics across Micrometer-scale Surface Gap with Titanium Electrodes

著者名: 岩渕 大行(東京大学),松岡 成居(東京大学),熊田 亜紀子(東京大学),日高 邦彦(東京大学)

著者名(英語): Hiroyuki Iwabuchi(The University of Tokyo),Shigeyasu Matsuoka(The University of Tokyo),Akiko Kumada(The University of Tokyo),Kunihiko Hidaka(The University of Tokyo)

キーワード: マイクロギャップ|放電|絶縁破壊電圧|パッシェンの法則|電界計算

要約(日本語): 近年の微細加工技術の発達に伴い、気体中や絶縁物表面の微小ギャップにおける絶縁破壊現象が大きな問題とされるようになった。特にマイクロアクチュエータに代表されるようなトルク出力が要求されるMEMSデバイスでは、出力が電界強度によって決定されるため、μm?nmオーダのギャップ間の絶縁の把握が重要な鍵となる。しかしながら、マイクロギャップ間における放電現象は、通常の気体中における放電と異なる様相を呈する複雑な物理現象であることが知られており、未解明な点が多く残されている。本研究においてはMEMSデバイスを模擬したSOウェハ上のマイクロ沿面ギャップにおける絶縁破壊特性の測定を行い、マイクロ沿面ギャップにおける放電機構の検討を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 330 Kバイト