位相同期型QCM用水晶振動子の作製と温度特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-105

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

タイトル(英語): Manufacture and temperature characteristics of crystal resonator for Phase Locked Quartz Crystal Microbalance

著者名: 山下 大介(日本大学),山田 翔平(日本大学),今池 健(日本大学),作田 幸憲(日本大学)

著者名(英語): Daisuke Yamashita(Nihon University),Shohei Yamada(Nihon University),Takeshi Imaike(Nihon University),Yukinori Sakuta(Nihon University)

キーワード: QCM|水晶振動子|温度特性

要約(日本語): 数ng以下の微小質量を検出できるQCM(Quartz Crystal Microbalance: 水晶振動子微小天秤)の性能の向上を目的として、1枚の水晶板上に2振動子を用意し一方を質量検出用、他方を周波数基準としてその差分を使用する位相同期型QCMが報告されている。本稿では位相同期型QCMに使用する水晶振動子を作製し、温度特性の評価を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 287 Kバイト