ペニング型パルススパッタ放電のN2比率依存性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-132

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

タイトル：ペニング型パルススパッタ放電のN₂比率依存性

タイトル(英語): The N₂ ratio dependence of High Power Pulse-Penning Sputter discharge

著者名: 枝川 和磨(兵庫県立大学),東 欣吾(兵庫県立大学)

著者名(英語): Kazuma Edagawa(University of Hyogo),Kingo Azuma(University of Hyogo)

キーワード: ハイパワーパルススパッタ|ペニング放電|反応性ガス|窒素比率

要約(日本語): ハイパワーパルスペニングスパッタ放電装置はプラズマを高密度化し、イオン化を促進する。本研究では、動作ガスとしてアルゴンおよび窒素の混合ガスを用いてプラズマを生成し、窒素の混合比率がプラズマ電力に与える影響について調査した。ガス流量は32 sccmで圧力は0.5 Paとした。ターゲットにはチタンを用い、電圧-800 V、繰り返し周波数500 Hz、パルス幅50 ?sのパルスを印加した。この結果、プラズマ電力は窒素の比率が0~60%のときは減少し、60%以上のときに一定となった。このとき、ターゲット表面での電力密度は約300 W/cm²となった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 203 Kバイト