大気圧MCS放電プラズマの高密度化の検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-133

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

タイトル(英語): Study on high dense arrangement of MHCD electrodes for MCS discharge

著者名: 鯨井 達哉(埼玉大学),前山 光明(埼玉大学)

著者名(英語): Tatsuya Kujirai(Saitama University),Mitsuaki Maeyama(Saitama University)

キーワード: 大気圧|グロー放電|MHCD|プラズマ|高密度化

要約(日本語): 本研究室ではマイクロホローカソード放電(MHCD)プラズマをプラズマカソードとして使用し、並列動作可能な円筒型並列MCS(マイクロホローサステインド)放電装置を開発した。しかしMHCD電極幅6.0 mm未満とした場合、MCS放電の安定な並列動作は確認できていない。本研究では様々なパラメータの変更を容易にするため円筒の部分を平板とした2次元的な装置を開発し、大気圧下においてMCS放電を安定に並列動作させるための条件を求めた。MHCDに印加するパルスの繰り返し周波数、パルス幅、 MHCD電流および外部抵抗の各値を変化させ放電の様子を観測した。その結果、パルス幅を1 μs, 3 μs, 20 μs, 35 μs, 50 μsと変化させた際、パルス幅を小さくすることでMCS放電の安定な並列動作を確認することができた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 269 Kバイト