導電性DLC成膜に向けた大気圧・準大気圧プラズマを用いた成膜技術の開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-138

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

タイトル(英語): Development of Atmospheric/sub-atmospheric Pressure Plasma Device for Preparation of Conductive DLC Films

著者名: 田中 啓右(兵庫県立大学),菊池 祐介(兵庫県立大学),松尾 吉晃(兵庫県立大学),大坪 陽(栗田製作所),西村 芳実(栗田製作所),永田 正義(兵庫県立大学),八束充保 (兵庫県立大学)

著者名(英語): Keisuke Tanaka(University of Hyogo),Yusuke Kikuchi(University of Hyogo),Yoshiaki Matsuo(University of Hyogo),Akira Otsubo(Kurita Seisakusyo Co. Ltd.),Yoshimi Nishimura(Kurita Seisakusyo Co. Ltd.),Masayoshi Nagata(University of Hyogo),Mitsuyasu Yatsuzuka(University of Hyogo)

キーワード: 大気圧プラズマ|ダイヤモンドライクカーボン|成膜

要約(日本語): ダイヤモンドライクカーボン（Diamond-like carbon: DLC）は高硬質，低摩擦性，ガスバリア性など優れた性質を有し，主に機械部品へのコーティングとして応用展開されている。一方，DLCに導電性を付与することができれば，DLCの優れた機械的，化学的特性に導電性を付与することができれば，安価な金属薄板へのコーティングにより，燃料電池の金属セパレータに使用するなど様々な応用分野が期待できる。本研究では大気圧・準大気圧下においてグロー放電プラズマを生成し，成膜基板の温度を制御しながら成膜を行うことで，導電性DLC成膜を行う装置を開発する。講演では得られたカーボン膜のレーザラマン分光計測結果，ナノインデンターによる硬度計測結果等についても発表する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 239 Kバイト