原料ガス間歇投入に伴う誘導熱プラズマを用いた多結晶ダイヤモンド生成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-140

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

タイトル(英語): Fabrication of Diamond Film using Induction Thermal Plasmas with Intermittent Feeding of Feedstock Gas

著者名: 福澤 未夢(金沢大学),堀田 宗佑(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),石島 達夫(金沢大学)

著者名(英語): Miyu Fukuzawa(Kanazawa University),Sosuke Horita(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University),Tatsuo Ishijima(Kanazawa University)

要約(日本語): 本報告では，原料ガスを間歇投入した誘導熱プラズマを分光観測し，Si基板に照射される励起種の時間変化を測定した。さらに熱プラズマ照射後の基板表面をSEM観察し，ダイヤモンド粒子の生成の有無を調べた。 プラズマトーチ上部からArを流量65 slpmでシースガスを連続的に導入した．一方，H2を流量3 slpm, CH4を流量0.03 slpmで間歇供給した。 コイル下195 mmでのAr/CH4/H2 AMITPの分光観測結果を示す。原料ガス間歇投入した場合においてもC2，Hスペクトルが強く観測できている。 C2，Hαスペクトル放射強度の時間変化を示す。ダイヤフラムバルブが開いてから約50 ms後にC2，その約100 ms後にHαの発光が強く見られる。 プラズマを1 時間照射した後のSi基板表面のSEM画像から，ダイヤモンド粒子が生成していることが確認できる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 558 Kバイト