空間電荷分布測定装置の高位置分解能化のための改良

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-022

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

タイトル(英語): Improvement of Space Charge Measurement System with High Positional Resolution using Pulsed Electro Acoustic Method

著者名: 熊岡 賢祐(東京都市大学),加藤 剛(東京都市大学),三宅 弘晃(東京都市大学),田中 康寛(東京都市大学)

著者名(英語): Kensuke Kumaoka(Tokyo City University),Tsuyoshi Kato(Tokyo City University),Hiroaki Miyake(Tokyo City University),Yasuhiro Tanaka(Tokyo City University)

キーワード: 空間電荷|パルス静電応力法|位置分解能

要約(日本語): 近年、多くの電気機器・電化製品の小型化・高性能化により、数?30 μmオーダの薄膜絶縁材料の絶縁性能の評価が求められている。そのため、パルス静電応力(PEA)法は材料内の空間電荷蓄積の分布を観察できるため、絶縁特性の評価に広く用いられている。しかしながら、通常のPEA法の位置分解能は10 μm前後と100 μm以下の試料の計測には適していない。そこで当研究グループでは位置分解能の向上を図ってきた。今回、25 μm程度の薄膜材料でも測定が可能な2.2 μm程度の高い分解能を有するPEA装置の開発を行ったので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 209 Kバイト