異なる温度でのフッ素系炭素薄膜による活性酸素のモニタリング

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-087

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

タイトル(英語): Monitoring of Active Oxygen Species Using Fluorocarbon Thin Films at Various Temperatures

著者名: 大西 康貴(東海大学),池田 佑旭(東海大学),西山 信人(東海大学),大家 渓(東海大学),岩森 暁(東海大学)

著者名(英語): Yasutaka Ohnishi(Tokai University),Yuki Ikeda(Tokai University),Nobuto Nishiyama(Tokai University),Kei Oya(Tokai University),Satoru Iwamori(Tokai University)

要約(日本語): polytetrafluoroethylene (PTFE) を高周波(r.f.)スパッタリングにより水晶振動子上に成膜することにより、水晶振動子微小天秤 (QCM) 法によって活性酸素をモニタリングできる。本研究では、高感度の活性酸素種のモニタリング技術を確立することを目的とし、異なる温度でのQCM法を用いたフッ素系炭素薄膜による活性酸素種のモニタリングを行った。その結果、温度の違いによって活性酸素がフッ素系炭素薄膜に及ぼす影響が異なることがわかった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 286 Kバイト