電界支援パルスレーザ堆積法による n-Diamond Like Carbon/i-SiC/p-Si層の生成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-092

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

タイトル：電界支援パルスレーザ堆積法による n-Diamond Like Carbon/i-SiC/p-Si層の生成

タイトル(英語): Synthesis of &n-Diamond Like Carbon/i-SiC/p-Si layer by Pulsed Laser Deposition at the Electrical Field

著者名: 青栁佳希 (日本大学),齋藤正旭 (日本大学),胡桃 聡(日本大学),松田 健一(日本大学),鈴木 薫(日本大学)

著者名(英語): Yoshiki Aoyagi(Nihon University),Masateru Saito(Nihon University),Satoshi Kurumi(Nihon University),Kenichi Matsuda(Nihon University),Kaoru Suzuki(Nihon University)

キーワード: パルスレーザー堆積法|ダイヤモンド状炭素

要約(日本語): 太陽電池は、エネルギー資源枯渇問題の対策として注目されているが、一般に普及しているSi太陽電池の変換効率は限界に来ている。一方、炭素材料は良好な効率の太陽電池の開発途上にあり、過去の研究では、パルスレーザ堆積法(PLD)によってPドープによるn-type Diamond Like Carbon(n-DLC)とp-Siとでヘテロ接合を形成させ、太陽電池を製作した。より効率を上げるために、我々は、タンデム型太陽電池としてp-Siとn-DLC層との間にSiC層を作製することを試みた。本稿では、電界支援PLD法によるn-DLC/i-SiC/p-Si層の成長技術について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 341 Kバイト