膜面法線方向磁場中における高周波キャリア型薄膜磁界センサの検出感度

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-117

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

タイトル(英語): Sensitivity of High-Frequency-Carrier-Type Thin-Film Magnetic Field Sensor in Normal Magnetic Field

著者名: 中居 倫夫(宮城県産業技術総合センター)

著者名(英語): Tomoo Nakai(Industrial Technology Institute,Miyagi prefectural government)

キーワード: 薄膜|磁界センサ|感度

要約(日本語): 高周波キャリア型薄膜磁界センサに、0.1 T程度の膜面法線方向の磁場を印加して、磁場中におけるセンサ感度を評価した結果を報告する。センサを含む検出領域全体に強い法線磁場を印加する本手法は、微粒子磁性体を高感度に検出するセンシング手法として提案する方法であり、今回、740 mTの膜面法線方向磁場中で1.6 nT/√Hzのセンサ感度を確認した。この感度は、400 MHzの高周波を簡易な検波回路で処理することで実現しており、実用システムの開発を視野に入れた研究の報告を行う。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 270 Kバイト