Beating Field方式高周波磁気力顕微鏡による高周波伝送線路のGHz帯近傍磁界測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-134

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

タイトル(英語): Study on Measurement of GHz-range Magnetic Field Near a Transmission Line by Beating Field-Type High Frequency MFM

著者名: 荒井 薫(東北大学),遠藤 恭(東北大学),柳 邦雄(東北大学),島田 寛(東北大学),山口 正洋(東北大学)

著者名(英語): Kaoru Arai(Tohoku University),Yasushi Endo(Tohoku University),Kunio Yanagi(Tohoku University),Yutaka Shimada(Tohoku University),Masahiro Yamaguchi(Tohoku University)

キーワード: Beating Field方式|高周波磁気力顕微鏡|GHz近傍磁界|CPW

要約(日本語): デジアナ混載I C に流れる微細な信号配線によって作り出される高周波磁界を、高分解測定可能な測定法としてBeating field 方式高周波MFMを提案し、電磁干渉問題理解への手段を考案した。今回はCPW上に発生するBeating fieldによる高周波近傍磁界を発生させ、MFM探針の振動振幅値の搬送波周波数依存性について検討を行った。 その結果、振動振幅値は7.0GHz以下のすべての搬送波周波数で観測されGHz帯での高周波近傍磁界が測定できることを示唆するものとなった。ただし2箇所の周波数で極大となっており測定系の一部がGHz対応になっていないところがあるものと考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 271 Kバイト